氦质谱检漏仪在低温容器行业应用
一、低温容器检漏原因
低温容器主要储存液态气体，出于安全及成本方面考虑，会对低温容器有较高的漏率（如表1所示）要求，因此对低温容器的检漏尤为必要，如杜瓦瓶，LNG储罐，Perma, 冷槽罐都需要使用氦质谱检漏仪检测。
表1
体积 L | 10-50 | 100以上 |
真空夹层漏率Pa*m³/s | ≤2×10E-8 | ≤6×10E-8 |
漏放气速率 Pa*m³/s | ≤2×10E-7 | ≤6×10E-7 |
二、低温容器的检漏方法
Pfeiffer HLT 氦质谱检漏仪提供两种检漏模式，正压模式(sniffer mode) 及负压模式 (vacuum mode)，低温容器的检漏多采用负压模式（真空模式）将氦质谱检漏仪与真空系统连接，最好连接在排气口附近，真空系统都会有泵组在抽真空，所以在泵的进气口处连接氦质谱检漏仪是在气流的运动方向上，很容易有一部分分压分给氦质谱检漏仪，从而达到检漏的效果。
三、低温容器检漏形式说明
使用氦质谱检漏仪真空模式检测低温容器是业界所采用的最广泛的检测方法，低温容器使用真空系统抽真空, 氦质谱检漏仪连接在真空炉的排气端，由于气流都会走向真空系统，如果喷氦气有漏的话，都会经过检漏仪抽气口，氦质谱检漏仪检测到氦气后就可以在漏率上有一个变化，从而达到测量效果。
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