工具显微镜的干涉照明和应用
干涉照明
工具显微镜在一般照明条件下，由于圆柱面和螺旋面的轮廓影像不够清晰，测量时，瞄准精度低。
“干涉法”是对照明系统作适当调节，使轮廓影像边缘产生干涉条纹，以测角目镜分划板刻线瞄准轮廓影像边缘的干涉条纹，代替直接瞄准影像轮廓的测量方法。由于干涉条纹很细，又很清晰，所以比直接瞄准影像轮廓要准确得多。
干涉条纹是由于底光照明直接进入物镜的光束和经被测表面反射的光束在空间迭加，产生干涉现象而形成。条纹可有多条，通常以离被测件轮廓最近的第1条作为瞄准目标。
使工具显微镜的照明产生干涉条纹的方法是：采用5×物镜，把照明光栏口径关到最小，照明电压开到最大，就能在轮廓影像边缘看到干涉条纹；把黑纸当中剪一个小孔放在底光照明聚光镜表面，把光栏口径和照明电压都开到最大，效果也不错。
干涉照明的调焦方式也在轮廓影像的边与普通照明不同,调焦过程中，可以看到干涉条纹离轮廓自远而近，找到距离最近的拐点，作为焦面。
应用
在工具显微镜上,干涉照明可用于螺纹螺距和牙侧角的测量。测量时，用测角目镜米字线与第1条干涉条纹重合，或将米字线夹在螺纹轮廓和第1条干涉条纹之间。
干涉照明不适合测量螺纹中径，请使用三针在端度仪器上测量。
某些文献给出了用干涉照明测量圆柱体直径和螺纹中径的方法，由于难于准确获得轮廓到干涉条纹的距离，应慎用。建议使用端度仪器测量，会更加准确。
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