热导式气体分析器的用途
热导式气体分析器在低量程方面还有许多不足,不能检测微量成分,主要是因为传感器的检测灵敏度低,受背景气体影响大。德国产集成化微加工工艺制造的微型传感器(MEMS)的一致性和导热性能高出几个数量级,使检测精度和稳定性大大提高。
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