xrd薄膜法能够测定薄膜什么性质
不知道你所说的薄膜法指什么.
一般对于薄膜材料,XRD能够做:
掠入射(GIXRD): 分析晶态薄膜物相,残余应力
反射率测量(XRR): 对膜质量要求较高,晶态非晶皆可.一般分析纳米级别薄膜的厚度,深入一点可通过拟合的方法来分析密度,表面界面的粗糙度
掠入射小角散射(GISAXS): 分析薄膜的纳米结构.这个比较新.
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不知道你所说的薄膜法指什么.
一般对于薄膜材料,XRD能够做:
掠入射(GIXRD): 分析晶态薄膜物相,残余应力
反射率测量(XRR): 对膜质量要求较高,晶态非晶皆可.一般分析纳米级别薄膜的厚度,深入一点可通过拟合的方法来分析密度,表面界面的粗糙度
掠入射小角散射(GISAXS): 分析薄膜的纳米结构.这个比较新.
