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扫描电镜的分辨能力适用表征标准范围科学与艺术的选择

2018.8.23

扫描电镜的相对极限适用表征形貌标准--结构特征放大到3-6mm ,能看出基本外形和结构特征。仪器观测条件需要发挥到相对极限。操纵难度高,需要极大耐心丰富的操纵经验。
  场发射大型扫描电镜有效表征:20nm-40nm   对应倍数15万-30万倍  对应观察视野宽度 800nm--400nm
  六硼化镧大型扫描电镜有效表征:40nm-80nm   对应倍数7.5万-15万倍  对应观察视野宽度 1.6μm--800nm
  钨灯丝大型扫描电镜有效表征:60nm-120nm   对应倍数5万-10万倍  对应观察视野宽度 2.4μm--1.2μm
  小型桌面台式扫描电镜有效表征:400nm-800nm  对应倍数 7500x-15000x   对应观察视野宽度  16μm--8μm

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