电镜能谱分析(EDS)
原理：高能电子束照射样品产生X射线，不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，通过检测不同光子的能量来对元素进行定性分析，另元素的含量与X射线的强度有关系，通过此关系可以对元素进行定量分析。
分析元素范围：4号铍(Be)-92号铀(U)
分析特点：一般与电镜组合用于微区及表面分析；主要用于元素的定性及半定量分析，可实现全元素扫描，检出限较高；可进行元素的面、线、点分布分析。
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原理：高能电子束照射样品产生X射线，不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，通过检测不同光子的能量来对元素进行定性分析，另元素的含量与X射线的强度有关系，通过此关系可以对元素进行定量分析。
分析元素范围：4号铍(Be)-92号铀(U)
分析特点：一般与电镜组合用于微区及表面分析；主要用于元素的定性及半定量分析，可实现全元素扫描，检出限较高；可进行元素的面、线、点分布分析。
