透射电镜(TEM)样品制备原则及要求
TEM制样原则:
a.简单。
b.不破坏样品表面,如:避免磨样过程中产生的位错及离子减薄过程中产生的非晶现象等。
c.尽可能获得大的薄区。
TEM样品要求:
a.对电子束透明(电子束穿透固体样品的厚度主要取决于:加速电压和样品原子序数)。
b.固体、干燥、无油、无磁性。
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TEM制样原则:
a.简单。
b.不破坏样品表面,如:避免磨样过程中产生的位错及离子减薄过程中产生的非晶现象等。
c.尽可能获得大的薄区。
TEM样品要求:
a.对电子束透明(电子束穿透固体样品的厚度主要取决于:加速电压和样品原子序数)。
b.固体、干燥、无油、无磁性。