CO₂波导激光器的特点
放电管内径小
普通纵向CO₂激光器的放电管直径一般都在5毫米以上，而CO₂波导激光器的放电管直径要小得多，一般在1～2毫米之间。
工作气压较高
普通纵向放电CO₂激光器的放电管内径在1厘米以上时，工作气压在20托左右，而对于放电管为1.5毫米左右的CO₂波导激光器的工作气压应在300托左右。
谱线加宽、频率可调谐范围增加
由于波导激光器的气压高，谱线增益带宽主要取决于压力增宽，气压在300托时，压力加宽宽度可达1500兆赫，比普通激光器的50兆赫提高了30倍。因此用它作调频激光器，可调谐范围将大大增加。例如国内生产的一种波长可调CO₂波导激光器，用方孔BeO波导，尺寸为1.5×1.5×150mm，总气压135托，气压比为CO₂∶N₂∶He∶Xe=2∶1∶13∶1，平-凹腔，透过率为5%，用光栅调谐，谐调宽度可达470兆赫，连续输出功率为740毫瓦。
输出功率密度可提高
对CO₂波导激光器而言，每立方厘米输出功率可达10瓦以上，为普通CO₂激光器的25倍。这有利于器件紧凑和小型化。例如有一连续波导激光器，圆形玻璃波导管，内径为1.5毫米，放电长度195毫米，采用平凹谐振腔，在输出镜透过率为8%，气压比为CO₂∶N₂∶He∶Xe=1∶0.9∶3.6∶0.3条件下，最大输出功率可达4.1瓦。又如一高频横向激励的CO₂波导激光器，尺寸为2×2×150mm的方孔BeO波导，在总气压130托，气压比为CO₂∶N₂∶He∶Xe=1∶0.3∶4.2∶0.2条件下，可得连续输出功率2.8瓦。
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