激光划片的国内外发展状况

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激光划片的国内外发展状况

2023.4.25

2007年华工激光自行研发成功具有自主知识产权的晶圆紫外激光划片机。　　

2008年LED紫外激光划片机由华工激光研发成功。

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周锦帆

原国家质检总局教授

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