3D光学显微镜的特点
▪ 原理：多孔盘共聚焦技术（ZL），可进行更快速的图像采集，即使在强光照明环境下，系统仍然可以保持非常低的杂散光并获取非常稳定的信号，因此，纳米级的高度分辨率得以实现，多孔盘上针孔的随机分布，从原理上防止了两个相邻点在同一时间段的测量。与传统的直线扫描相比，散射光干扰、人为误差以及机器测量缺陷得以克服。
▪ 光源：LED（10年寿命）（475nm）
▪ 测量项目：立体测量，形状、轮廓测量，平面度、同面度，摩擦学、轴承表面，特定体积测量，2D/3D粗糙度，层厚测量（透明/半透明）
▪ 拼图：500张高清拼图（拼接模式下并不减少测量点的数量）
▪ 形状追踪：自动测量范围追踪，形状追踪无需预先设置即可对凸面、凹面，以及波形面进行追踪拼接
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