滤光片的表面规格和尺寸参数
表面质量
滤光片的表面质量，主要其表面会不可避免地有一些划痕和坑点等缺陷，表面质量最常用的规格是由MIL-PRF-13830B说明的划痕和坑点规格，坑点名称是通过以微米计的坑点直径除以10来计算的，通常划痕坑点规格在80至50范围内将称之为标准质量；在60至40范围内视为精确质量；而在20至10范围内将视为高精度质量。
表面平滑度
表面平面度是测量表面精度的一种，它用于测量反射镜、窗口片、棱镜或平光镜等平面的偏差，平滑度的偏差通常是按波纹值（λ）来测量的，它们是由多个波长的测试源组成，一个条纹对应1/2的波长，平滑度为1λ，则代表一般的质量级别；平滑度为λ/4，则代表精确的质量级别；平滑度为λ/20，则代表高精度的质量级别。
公差（Tolerance）：滤光片的公差，主要是在中心波长与半宽带上，因此滤光片产品公差范围的标明。
直径公差
一般情况下，滤光片直径的公差影响在使用过程中的影响不是很大，但是要将光学器件安装在固定器上的话，就要考虑直径公差了。通常情况下，直径的公差在（±0.1 mm）称为一般质量，（±0.05 mm）称为精密质量，（±0.01 mm）称为高质量。
中心厚度公差
中心厚度是表示滤光片中心部分的厚度。通常情况下，中心厚度的公差在（±0.2mm）称为一般质量，（±0.05mm）称为精密质量，（±0.01mm）称为高质量。
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