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1340万!南京大学意向采购原子力显微镜、扫描电镜等

2022.10.21

  近日,南京大学公布2022年11至12月政府采购意向,其中意向采购聚焦离子束系统、原子力显微镜和高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统,总预算金额1340万元人民币。

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采购单位采购项目采购品目采购需求概况预算金额预计
名称(万元)采购日期
南京大学原子力显微镜A02100301 显微镜采购原子力显微镜1台,要求具备样品表面形貌的原子力扫描成像功能,主要用于半导体材料与器件形貌的表征。通过探针针尖的原子力作用扫描样品表面,获得包括高度、力学、电学和粗糙度等信息。 设备主要由以下几部分组成:测试主机、显微系统、控制主机、控制系统与软件、配套附件等。 具备多种工作模式:包括但是不限于 接触模式;轻敲模式;自动扫描模式;磁力显微镜;横向力显微镜;相位成像。具备大范围的样品水平扫描能力;具备大范围的Z轴扫描能力,具有智能自动进针方式,附带正版操作系统与软件,可放置样品最大支持8寸,向下兼容,具备高分辨同轴直视光学系统:在操作原子力显微镜的同时,可获得光学图像;配备主动电磁式防震平台, 随设备提供满足设备质保期内正常使用的常用备件与耗材,包括用于8英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。 质保期:自设备验收之日起至少1年,质保期内提供全免费保修。在质保期满后继续提供技术支持。 交货地点:南京大学仙林校区。 售后服务响应要求:供应商必须保证快速的服务响应,得到通知后,应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的,应在72小时内赶到现场。 培训要求:设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后,供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训,包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。2002022年12月
南京大学聚焦离子束系统A02100305 电子光学及离子光学仪器采购聚焦离子束系统1台,具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能和聚焦离子束加工能力,主要用于半导体材料与器件形貌的表征,TEM制样和图形定制。通过高分辨的扫描电子图像,获得包括高度、材料、电学和粗糙度等信息。搭配离子束源加工系统,能够对样品进行图形加工。搭配能谱仪EDS,能够实现扫描图像与元素分析的对应关系。具备液态 Ga 离子源,电子枪类型为肖特基场发射灯丝;配备独立二次电子探测器,配备镜筒内独立二次电子探测器;配备CCD 相机系统;可实现二次电子信号与背散射信号同时成像;拥有至少1支独立的单气体注入系统,全无油真空系统;配备 UPS 电源系统。配置操作系统,至少两台 24” LCD 显示器;带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的遥感操作系统。配置能谱仪EDS一套,配置主动式减震台一套,包括用于6英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。质保期:自设备验收之日起至少1年,质保期内提供全免费保修。在质保期满后继续提供技术支持。 交货地点:南京大学仙林校区。售后服务响应要求:供应商必须保证快速的服务响应,得到通知后,应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的,应在72小时内赶到现场。 培训要求:设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后,供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训,包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。6502022年12月
南京大学高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统A02100301 显微镜采购高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统1套,具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能,用于半导体材料与器件形貌的表征。通过高分辨的扫描电子图像,获得包括高度、材料、电学和粗糙度等信息。能够实现二次电子成像;搭配阴极荧光测试系统,能够对样品的发光性能进行分析表征。能够实现扫描图像与阴极荧光光谱的对应。 具备低电压配备电子束减速模式,配置样品电流监视器,无油机械泵,磁悬浮涡轮分子泵和离子泵。至少2台24”LCD显示器,计算机系统附带专业Windows 操作系统,预留光电关联接口。配置阴极荧光光谱仪探测器一套 配置主动减震台,配置液氮冷冻装置 一套,随设备提供满足设备质保期内正常使用的常用备件与耗材,包括用于6英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。质保期:自设备验收之日起至少1年,质保期内提供全免费保修。交货地点:南京大学仙林校区。 供应商必须保证快速的服务响应,得到通知后,应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的,应在72小时内赶到现场。设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后,供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训,包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。4902022年12月


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