扫描电镜电子枪的高压不及透射电镜
奥林巴斯生物显微镜扫描电镜电子枪的高压不及透射电镜中那样高，通常设定在1—50kv。电子枪的阴极可以是热钨丝型的，但近年来已更多采用IjB6阴极，部分电镜上采用场发射枪，甚至肖特基热场发射枪。以热钨丝阴极为例，在前述加速电压下电子发射所形成的光源zui小交叉截面区直径为10一50ym。为了保证较好的分辨率，必须将它们经聚光镜多级缩小，在样品表面处形成直径为1—10nm、束流为10”一10”A的电子探针。有些工作p如电子探针微区成分分杆．要求柬流高达lo“一lo—’A．则电子探针的直径应增至o．1—1Pm。从上述要求出发，扫描电镜中的聚光系统常由三级电子透镜组成，使束斑缩小率可达I／5000的量级。因末级聚光镜系紧邻样品上方，且在结构设计等方面有一定特殊性，故常把它单独列出，称为物镜。但它与进射电镜中位于物样下方的物钥是不同的。
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