一种过程质谱仪的进样接口装置的制作方法
本实用新型涉及质谱分析技术领域，更具体地，涉及一种过程质谱仪的进样接口装置。
背景技术：
质谱分析法是通过测定样品离子的质量m与电荷z之比(简称质荷比，m/z)来进行分析的一种分析方法。被分析的气体样品首先要离子化，然后利用不同离子在磁场或电场中运动轨迹的不同，把离子按质荷比分开而得到质谱图，进而得到样品的分析结果。质谱仪是根据带电粒子在电磁场中偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的质量差异进行分离和检测物质组成的仪器，一般由检测系统、真空系统、电学系统和数据处理系统四部分组成。其中，检测系统由进样系统、离子源、质量分析器和离子检测器组成。样品通常由进样系统导入到离子源，在离子源中被电离成离子，离子束按照质荷比大小由质量分析器分开，被离子检测器接收并记录而获得质谱图。真空系统提供和维持质谱仪正常工作所需的真空度，通常为10-2Pa～10-5Pa。
过程质谱仪，又称作工业质谱仪或在线分析仪，是安装于现场，对生产流程中的气体进行定性定量分析的一种质谱仪。因此，对过程质谱仪的一个重要的要求是分析速度快，一些情况下需要在仅数秒或十数秒的时间内对一个气体流路进行分析。目前，过程质谱仪的进样系统通常采用毛细管将气体样品注入到过程质谱仪的离子源。
由于过程质谱仪正常工作所需的真空度通常为10-2Pa～10-5Pa，生产流程中的气体的气压都远远高于离子源中的气压，从而进样系统须采用具有较大气阻的管路，如采用长度较长且内径很细的毛细管，气体通过缓慢扩散的方式进入到过程质谱仪的离子源，因而气体样品难以在短时间内进入到离子源；气体样品的进样时间过长，影响了过程质谱仪的工作效率，不能保证在较短的时间内完成对气体样品的质谱分析。
技术实现要素：
为了克服上述问题或者至少部分地解决上述问题，本实用新型提供一种过程质谱仪的进样接口装置。
根据本实用新型的一个方面，提供一种过程质谱仪的进样接口装置，包括：三通导管和微孔板；三通导管的任一接口对应的通道内设有微孔板，微孔板所在的平面与通道的横截面的夹角小于90°，且微孔板与通道的内壁紧密贴合，微孔板的中心部位设有微孔。
其中，微孔的孔径为2～100μm。
其中，通道包括第一子通道和第二子通道，第一子通道的横截面面积大于第二子通道的横截面面积，第一子通道和第二子通道之间有过渡面，微孔板与过渡面紧密贴合。
其中，第一子通道的横截面为圆面。
其中，进样接口装置还包括微孔板固定螺母，微孔板固定螺母设有外螺纹，第一子通道的内壁设有内螺纹，微孔板固定螺母设有的外螺纹与第一子通道的内壁设有的内螺纹相匹配，第一子通道和第二子通道之间的过渡面为平面，过渡面平行于通道的横截面，微孔板固定螺母通过向微孔板的方向旋转以紧压微孔板；微孔板固定螺母的中心部位设有通孔，通孔的方向垂直于微孔板固定螺母的横截面，通孔与微孔形成气体通路。
其中，三通导管的每一接口包括螺母、卡套和管口；管口的横截面为圆环面，管口设有与螺母相匹配的外螺纹，螺母旋合在管口上；卡套位于螺母和管口内侧，卡套的外壁为圆锥面，卡套的外壁与管口紧密贴合。
本实用新型提供的一种过程质谱仪的进样接口装置，包括：三通导管和微孔板；通过在三通导管的任一接口对应的通道内设有微孔板，微孔板的中心部位设有微孔，气体通过该通道时，需经微孔板中心部位的微孔通过；其中，该通道连接至过程质谱仪，三通道管剩余的两个通道分别连接至气体样品和采样泵，使用采样泵降低三通道管剩余的两个通道中的气压，再通过微孔控制气体进入到过程质谱仪，相比于现有技术中的毛细管，微孔会大大减少质谱分析过程中气体样品的进样时间，从而提高过程质谱仪的工作效率。
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