辉光放电质谱仪的应用范围
辉光放电质谱法作为一种固体样品的直接分析方法,被认为是目前为止唯一的同时具有最广泛的分析元素范围和足够灵敏度的元素分析方法,已成为固体材料多元素分析尤其是高纯材料分析的强有力的工具。直接对固体进行分析避免了将固体转化成溶液时因在溶解、稀释等过程中造成的玷污和灵敏度降低,而且该方法对样品的分析面积大,所得数据结果有好的代表性。
仪器主要性能指标:
该仪器配置辉光放电离子源,高分辨双聚焦磁质谱和高灵敏度的探测系统。有其独特的分析特点和广泛的应用范围。
可测元素范围 | 元素周期表中除氢(H)外的所有元素,包括常用分析方法难以测定的C,N,O,P,S等轻元素 |
检测浓度范围 | 超低检测限,大多数元素的检测限为0.1~0.001μg·G-1 |
分析速度 | 快速,一次可给出多量、少量、痕量以及超痕量多元素分析结果 |
精密度 | 高 |
优势分析应用领域
金属及合金材料
包括高纯金属,溅射靶材,稀贵金属,超级合金等材料的痕量杂质的半定量和定量分析,同时可分析C、N、O等轻元素。
半导体材料
包括硅片,CdTe,GaAs及其他多种高纯电子材料的杂质分析。
无机非金属材料
包括陶瓷粉末,玻璃,稀土氧化物等材料分析。
薄层分析,深度分布剖面分析等
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