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做半导体设备在线监测设备有毒吗

2021.11.29

  设备没有毒,是设备里通的气体化学品有毒,半导体都是用的带有毒性的化学品而且还是剧毒,检测是必须要有的,主要就是气体侦测的sensor才会和毒气接触,监控的地方不会有毒气过来的,可以用远程监控的

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