X射线光电子能谱的的技术特点
(1)可以分析除H和He以外的所有元素,对所有元素的灵敏度具有相同的数量级。
(2)相邻元素的同种能级的谱线相隔较远,相互干扰较少,元素定性的标识性强。
(3)能够观测化学位移。化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学位移信息是XPS用作结构分析和化学键研究的基础。
(4)可作定量分析。既可测定元素的相对浓度,又可测定相同元素的不同氧化态的相对浓度。
(5)是一种高灵敏超微量表面分析技术。样品分析的深度约2 nm,信号来自表面几个原子层,样品量可少至10-8g,绝对灵敏度可达10-18g。
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