压阻式真空传感器原理简介
原理
压阻式真空传感器的测量部件是一个装有固态压力芯片，该芯片利用半导体材料的压阻效应，在特定晶面上，采用集成电路工艺技术扩散成四个等值电阻，组成一个惠斯登电桥，使得形变与桥阻变化形成一一对应关系，当压力变化时，电桥失去平衡，输出一个与压力成正比的电信号，再由感应智能芯片进行非线性修正和温度补偿，最终输出与压力成线性对应关系的标准信号。
压阻式真空传感器的测量部件是一个装有固态压力芯片，该芯片利用半导体材料的压阻效应，在特定晶面上，采用集成电路工艺技术扩散成四个等值电阻，组成一个惠斯登电桥，使得形变与桥阻变化形成一一对应关系，当压力变化时，电桥失去平衡，输出一个与压力成正比的电信号，再由感应智能芯片进行非线性修正和温度补偿，最终输出与压力成线性对应关系的标准信号。
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