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X射线光电子能谱技术(XPS)的基本组件

2022.1.17
  • X射线源

  • 超高真空不锈钢舱室及超高真空泵

  • 电子收集透镜

  • 电子能量分析仪

  • μ合金磁场屏蔽

  • 电子探测系统

  • 适度真空的样品舱室

  • 样品支架

  • 样品台

  • 样品台操控装置


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