如何在SEM下调整束斑直径
如何在SEM下调整束斑直径
描述SEM中电子束性质的四个主要参数如图1所示:
使电子在电镜腔室中运动的加速电压
电子束的会聚角
轰击样品的电子束流大小
到达样品表面的zui终束斑直径。
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如何在SEM下调整束斑直径
描述SEM中电子束性质的四个主要参数如图1所示:
使电子在电镜腔室中运动的加速电压
电子束的会聚角
轰击样品的电子束流大小
到达样品表面的zui终束斑直径。