X射线光电子能谱技术（XPS）的系统结构原理
X射线源是用Al或Mg作阳极的X射线管。 它们的光子能量分别是1486 eV和1254 eV 。 安装过滤器(或称单色器)是为了减小光子能量分散。
X射线光电子能谱仪(系统)结构原理
离子枪的作用一方面是为了溅射清除样品表面污染,以便得到清洁表面,从而提高其分析的准确性。另一 方面,可以对样品进行溅射剥离,以便分析不同深度下样品的成份。
样品室内的样品架安装有传动机构,不但可以做x,y和z三个互相垂直方向的移动。还可沿某一坐标轴作一定角度的旋转。这样便于观察分析研究样品不同部位的情况。
电子能量分析器是X射线光电子能谱仪的关键组成部分。它的作用是测量电子能量分布和不同能量电子的相对强度。电子能量分析器和电子倍增器系统完全由微型电子计算机控制。
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