实验室分析仪器--质谱仪器的组成-前级泵
前级泵（backing pump）是用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。目前常见的前级泵有：水环式真空泵、旋片式真空泵，立式无油真空泵、往复式真空泵、H、2H滑阀式真空泵等。通过选用不同的前级泵可以得到不同的真空度和抽气速率。
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前级泵（backing pump）是用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。目前常见的前级泵有：水环式真空泵、旋片式真空泵，立式无油真空泵、往复式真空泵、H、2H滑阀式真空泵等。通过选用不同的前级泵可以得到不同的真空度和抽气速率。
