扫描电镜的分辨率受哪些因素影响
主要影响因素
1 扫描电子束斑直径
一般认为在理想的情况下,扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径,故束斑直径越小,电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统(电子枪等)
2 入射电子束在样品中的扩展效应
例如不同的入射电子能量导致作用区域不同,高加速电压时,入射电子能量高,作用深度大,不同深度的信号叠加,无法清晰地表征材料最表面细节;低加速电压时,入射电了能量低,作用深度浅,提高了空间分辨率,。
3.成像所用信号种类
也是主要与信号本身的能量和信号取样的区域范围,以二次电子为调制信号和以背散射电子就不一样,后者分辨率低于前者。
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