激光干涉仪的功能特点
1、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。
2、激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调
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1、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。
2、激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调
