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什么是能谱分析仪

2021.8.10

能谱分析仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
各种元素具有自己的X射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E,能谱分析仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
探头:一般为Si(Li)锂硅半导体探头
探测面积:几平方毫米
分辨率(MnKa):~133eV
探测元素范围:Be4~U92

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