少子寿命测试的主要应用和特点

2022.4.11

　　主要应用：分布监控和优化制造工艺其它应用：检测原始硅片的性能测试过程硅片的重金属污染状况评价表面钝化和发射极扩散掺杂的好坏用得到的类似IV的开压曲线来评价生产过程中由生产环节造成的漏电。

　　主要特点：只要轻轻一点就能实现硅片的关键性能测试，包括表面电阻，少子寿命，陷阱密度，发射极饱和电流密度和隐含电压。