现代SEM中,用户可以控制电子束的大
在现代SEM中,用户可以控制电子束的大小。这主要是通过调节系统的会聚镜和物镜,选择不同大小的孔径光阑来实现的。
电子流经电磁透镜(由极靴内部的线圈组成),操作者可以通过调节加载在透镜上的电流来控制电子的路径。此外,束斑直径取决于加速度电压(高加速电压减小斑点尺寸),工作距离(距离越大,束斑直径越大),以及物镜光阑(较小的光阑产生较小的束斑直径)。
然而,实际上电子束斑的大小是一个控制和预测起来非常复杂的参数,因为它依赖于许多(相互关联的)因素。描述束斑直径涉及到电子枪的高斯直径、末级光阑的衍射效应、色差和电磁透镜引起的球面像差。
如果再看下图1,为了在样品试样表面上有一个较小的束斑直径和足够的电流,用户只需增加电子束的会聚角。然而,这将增加扫描电镜中光学元件的像差,从而拓宽光束。因此,要想准确地进行实验,必须了解不同的参数是如何影响电子束的特性,并权衡它们之间的利弊。
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