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压电扫描管扫描器在AFM原子力显微镜中的应用

2018.7.31

随着纳米科技的不断发展,原子力显微镜由于其自身的诸多优点被广泛应用于微观领域的观测与操作,AFM等微纳米级测量仪器已成为微纳米研究工作者重要的科研工具。原子力显微镜的扫描精度在很大程度上取决于内部压电陶瓷管扫描器的性能以及压电控制器的控制精度。

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