超纯水比阻抗值的重要性（与总离子浓度的关连性）
从比阻抗值来推估超纯水中的离子含量时，首先应注意比阻抗计的灵敏度。例如，当比阻抗值由 18.2 MΩ．cm 变为 18.0 MΩ．cm 时，这意味着溶液中产生相当于 0.36 ppb (μg/L) 的离子浓度变化。也就是，比阻抗计的灵敏度应为 ppb 层级。但是，离子层析与ICP-MS等高灵敏度分析仪器，其检测结果却会受到超纯水中 ppt (ppb 的 1/1000) 层级的离子浓度影响。此外，除以比阻抗值来进行水质管理外，也应定期进行超纯水系统的维护与离子交换树脂桶及活性碳匣的更换。
1996年，美国药典（USP）在增加的第5修正补述中，对于相关水质的规定，使用未经温度修正的比阻抗值，所以对不同温度下，水质应有不同的比阻抗值加以检测与订定。因此，纯水与超纯水系统至少也需要有温度校正值的显示才可以。
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