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像散对扫描电镜成像质量的影响

2019.12.23

除了加速电压、样品的导电性、电镜的束流强度,像散、图像的亮度对比度等都会影响扫描电镜图像的成像质量。

今天,这一篇文章将教大家了解消除像散的重要性,提高样品的成像质量。

像散的定义可能会比较抽像,所以,小编用近视的散光来进行对比。

当近视看月亮时,月亮会比较模糊,但仍是一个圆形。

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当近视有散光看月亮时,看到的月亮会出现变形。

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电镜的像散就如同散光,当图像有像散时,在聚焦的过程中会发现图像拉伸变形,失去原本的形状,这也是判断像散的依据。如果在聚焦的过程中,没有发现图像出现拉伸变形,仅仅只是图像虚化,那便说明没有像散。

像散是影响图像清晰度的重要因素。尤其是高倍图片——在用高加速电压、低束流拍摄高倍率图片时,一般都需要进行消像散。下面,通过几组图片,让大家更好的理解消像散对高倍率图像的重要性。

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锡球,放大倍数是 79000 倍,左边图像无像散,右边图像有像散

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电极材料,放大倍数 50000 倍,左边图像无像散,右边图片有像散

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炭材料,放大倍数 20000 倍,左边图像无像散,右边图片有像散

当扫描电镜图像出现象散时,对其进行聚焦,图像会出现拉伸感,如下图所示,消象散需要实验员具有丰富的操作经验,才能准确识别并消除象散。

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