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真空箱氦检漏的基本功能和工艺流程

2021.6.05

  基本功能

  操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程,生产节拍快,检漏精度高。

  工艺流程

  A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空,同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;

  B1:若A1检测不通过,则系统报警,大漏工件序号显示-----检测程序中止;

  B2:若A1检测通过,放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式,微漏检测;

  C1:若B2检测不通过,则系统报警-----循环检,小漏工件序号显示------检测程序中止;

  C2:若B2检测通过,真空箱内充入大气,同时工件内氦气回收-------真空箱开门,检测完成。

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