材质必须均匀。你的待测元素不均匀的话，多的地方和少的地方差别会较大。因为XRF光谱仪入射光线一般较窄，直径1-5微米，也就是说照射到样品的区域会很小，所以不均匀样品检测会不准确，当然主要也是看不均匀程度。
你的交错规律排列指的什么？如果是一层高分子，一层无机物，在一层高分子一层无机物，并且每层的厚度一定（比如第一层高分子都是10微米厚）。这样的可以在一定程度上看成是均匀的，但是用X荧光光谱仪测量还是有问题，因为X荧光透过不同物质有无限厚（某元素的X荧光透射不出来的厚度，原因是自吸收）的问题。这样误差看你每层的厚度了，如果每层都很薄，比如几个微米那么影响会较小。如果每一层达到几十比如50微米以上，那么影响就会较大。
晶体成分没什么，只要是均匀分布就可以，因为即便有分光等现象，也是等概率的，因为是均匀分布。