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电子显微镜有几部分组成

2022.6.16

电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。

1、镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件,这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体。

电子透镜用来聚焦电子,是电子显微镜镜筒中最重要的部件。一般使用的是磁透镜,有时也有使用静电透镜的。

2、真空装置用以保障显微镜内的真空状态,这样电子在其路径上不会被吸收或偏向,由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成,并通过抽气管道与镜筒相联接。

3、电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。


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