用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法
一种用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法。旋转空气轴承高速旋转，从旋转编码器获得旋转的角度，气浮导轨沿着待测工件的径向运动，从线性编码器获得气浮导轨的位移，旋转空气轴承和气浮导轨从而构成扫描模块，利用ＤＳＰ综合控制系统模块驱动ＳＰＭ测量头获得待测工件表面的高度信息，再利用高速数据采集与处理模块将ＳＰＭ测量头和扫描模块关联在同一个坐标系中，实现扫描频率和形貌测量速度匹配、极坐标和直角坐标之间的数据快速实时转换，从而实现微纳结构三维形貌的高速、大面积超精密测量。本发明可以实现对微纳结构三维形貌的快速、大面积扫描，进而快速构建微纳结构三维形貌，彻底解决传统ＳＰＭ测量速度慢、测量范围小等瓶颈问题。
主权利要求: 一种用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法，其特征在于：将旋转编码器（１）安装在旋转空气轴承（２）上，待测工件（３）安装在旋转空气轴承（２）上，在气浮导轨（６）上安装有线性编码器（５）和与待测工件（３）相配合的ＳＰＭ测量头（４），当工作时，旋转空气轴承高速旋转，从旋转编码器获得旋转的角度，气浮导轨沿着待测工件的径向运动，从线性编码器获得气浮导轨的位移，旋转空气轴承和气浮导轨从而构成扫描模块，利用ＤＳＰ综合控制系统模块驱动ＳＰＭ测量头获得待测工件表面的高度信息，再利用高速数据采集与处理模块将ＳＰＭ测量头和扫描模块关联在同一个坐标系中，实现扫描频率和形貌测量速度匹配、极坐标和直角坐标之间的数据快速实时转换，从而实现微纳结构三维形貌的高速、大面积超精密测量。
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