台式扫描电子显微镜的组成
真空系统:一般采用机械泵与分子泵联动
电子枪:一般为CeB6( 六硼化铈)或钨灯丝,其中钨灯丝的寿命较短,仅为40-100小时,需频繁更换,CeB6灯丝寿命超过1500小时,且亮度更高。目前尚没有采用 场发射(Field Emission)的台式扫描电镜。
电磁透镜
探测器: 背散射电子或二次电子探测器
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真空系统:一般采用机械泵与分子泵联动
电子枪:一般为CeB6( 六硼化铈)或钨灯丝,其中钨灯丝的寿命较短,仅为40-100小时,需频繁更换,CeB6灯丝寿命超过1500小时,且亮度更高。目前尚没有采用 场发射(Field Emission)的台式扫描电镜。
电磁透镜
探测器: 背散射电子或二次电子探测器