1) 采用与同类进口产品相同品牌的高精度硅薄膜压力传感器，压力测量精度为相应读数的0.15%，远远优于0.15%的全量程精度（FS）传感器；

　　2) 与国外同类产品类似，采用0－10Torr和0－2000Torr双压力传感器，对测试范围内的压力采用分段测量，大大降低了低真空下的测量误差，0－10Torr的硅薄膜压力传感器精度远高于相同量程的皮拉尼电阻真空计（一般误差为10%-15%）；

　　3) 独创的一体化集装式管路系统，采用进口集装管路，显著减少管路连接点，大大减少死体积空间，有利于降低测量误差；

　　4) 独创的步进式液氮面控制系统，确保测试全程液氮面相对样品管位置保持不变，彻底消除因死体积变化引入的测量误差；

　　5) 独特设计的抽气及进气控制系统，有效防止样品抽真空和进气过程中的飞溅，确保测试气路的清洁和样品质量无损失，保护高精度压力传感器免受压力巨变可能导致的零点和线性漂移。