APEX压痕划痕仪纳米模块 NH
纳米模块 NH
随着纳米科技和薄膜技术的发展（太阳能电池，cvd、pvd、dlc、MEMS等），纳米尺度的机械性能测试趋向标准化。纳米机械性能测试在传统测试基础上有了很大改进，通过设计高宽径比的探针测试更深更窄的沟槽，还实现低负载，高空间分辨以及原位负载-位移数据精确测量。
纳米压痕 — 参照ISO14577认证标准，选取单点/多点压痕来测量薄膜、涂层和块体材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（冯米塞斯应力，von Mises stresses）和接触强度/刚度等。
纳米划痕 – 在接触模式下，可根据用户自定义不断增加负载，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。
动态压痕 - 通过探针动态测量方法，检测深度依赖性损失以及存储模量。
推荐
