金属制样
冲样：
金属材料韧性比较好，可在冲样机上冲出直径为3mm的小圆片，也可用机械切片机（mechanicalpunch）将直径3mm薄圆片从材料上切下来。一个设计得很好的机械切片机只会在切下的小圆片的圆周上引起很小的损伤，但对某些材料机械切片时产生的冲击可造成剪切变形。
4.预减薄：
如果冲样前的试样磨得不是很好，此时可以在砂纸上再次手工研磨。然后再用凹坑减薄仪进行减薄。减薄后薄圆片样品出现一个碗状得凹坑，在碗得底部样品zui薄，其它部分较厚，保证样品不易碎。
5.zui终减薄
一般采用双喷或者离子减薄。1）双喷：这种方法主要用于金属和合金样品。双喷时要选择好电解液，还要控制水流、电压、电流和温度。举例来说，如果水流太小，腐蚀产物冲不走；若水流太大，又会把薄区冲掉。这中方法的有点时减薄速度快，没有机械损伤，但是电解双喷可能会引起非晶的晶化、污染、氧化等。
2）离子减薄：这种方法对于陶瓷、金属等试样都可以使用，是一种普适的减薄方法。应当注意，如果长时间进行离子减薄，由于试样中不同成分和不同取向的溅射速度不同，试样表面成分可能发生变化，而且离子辐照损伤可能使试样表面非晶化，所以选择合适的减薄条件（电压和角度）和控制试样温度是比较重要的。离子减薄薄区可能好一些，但是太耗时。离子减薄还可以用于去除试样表面的污染层。
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