真空泵油由哪些成分组成
工业行业常用的真空泵油有两种:碳氢化合物油与全氟聚醚油(PFPE)。碳氢化合物油极易燃烧,化学结构不稳定,容易降解,使得润滑性能容易降低,从而易导致真空泵出现故障。而豪可德PFPE由碳、氧、氟原子组成,属于耐腐蚀性气体真空泵油分类中的ISO-6743A-1987/DVB、DVD、VDF类油品。该油品中的氢原子全部为氟原子取代,由其分子结构特点决定,具有的热稳定性、化学惰性、不燃性。能够在VF3、PH3、AsH3及其它卤素化合物(BF3、BC13、PC13、TIC14、SnC14、SIC14)等具有强腐蚀性的环境中保持稳定,甚至在高温下也有一定的抗腐蚀作用。与常规的油品相比,不仅安全,而且使用寿命长。PFPE可用于有制氧系统和有腐蚀气体的半导体系统和强辐射的场合,尤其是针对半导体芯片加工过程中有特殊气体及强腐蚀性化学物质的蚀刻制程和沉淀过程。
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