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UV光刻胶中的正性和负性胶的区别

2021.7.15

最主要的区别就是正胶经曝光显影后可溶与显影液; 负胶经曝光显影后不溶与显影液
同样一块mask, 正胶和负胶曝光显影后图形是相反的

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