质谱分析法术语--无机质谱法
无机质谱法（ inorganic mass spectrometry）
用质谱仪器对无机元素或无机化合物进行定性定量分析的方法。早期以火花源质谱法、二次离子质谱法为主，随着电感耦合等离子体质谱法、辉光放电质谱法的成熟，拓宽了无机质谱法的应用领域。在高纯气体、高纯材料中痕量杂质分析，无机物元素分析，固体表面的微区和深度分析等有成功应用，无机质谱的突出优点是它具有超高灵敏度，可提供定性、定量和结构等多种信息。
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无机质谱法（ inorganic mass spectrometry）
用质谱仪器对无机元素或无机化合物进行定性定量分析的方法。早期以火花源质谱法、二次离子质谱法为主，随着电感耦合等离子体质谱法、辉光放电质谱法的成熟，拓宽了无机质谱法的应用领域。在高纯气体、高纯材料中痕量杂质分析，无机物元素分析，固体表面的微区和深度分析等有成功应用，无机质谱的突出优点是它具有超高灵敏度，可提供定性、定量和结构等多种信息。
