XPS全谱分析与EDS的功能差异分析
a. EDS 与XPS 的相同点:两者均可以用于元素的定性和定量检测。
b. EDS 与XPS 的不同点:
1) 基本原理不一样:简单来说,XPS 是用X 射线打出电子,检测的是电子;EDS 则是用电子打出X 射线,检测的是X 射线。
2) EDS 只能检测元素的组成与含量,不能测定元素的价态,且EDX 的检测限较高(含量>2%),即其灵敏度较低。而XPS 既可以测定表面元素和含量,又可以测定表其价态。XPS 的灵敏度更高,最低检测浓度>0.1%。
3) 用法不一样:EDS 常与SEM,TEM 联用,可以对样品进行点扫,线扫,面扫等,能够比较方便地知道样品的表面(和SEM 联用)或者体相(和TEM 联用)的元素分布情况;而XPS 则一般独立使用,对样品表面信息进行检测,可以判定元素的组成,化学态,分子结构信息等。
备注:EDS 或EDX 指能量色散X 射线光谱仪,全称为Energy Dispersive X-ray Spectroscopy。
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