真空检漏的分类和意义
真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。
可以分为：
1）压力检漏法
①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。
2）真空检漏法
①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。
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真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。
可以分为：
1）压力检漏法
①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。
2）真空检漏法
①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。
