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eds是什么意思

2021.11.25

eds是指能谱仪。

能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

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指标:

固体角:决定了信号量的大小,该角度越大越好

检出角:理论上该角度越大越好

探头:新型硅漂移探测器(SDD)逐步取代锂硅Si(Li)探测器

能量分辨力:最高级别的能谱仪分辨力可达121eV

探测元素范围:Be4~U92


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