近红外光纤光谱仪对LED及薄膜厚度的测试

　近红外光纤光谱仪采用背照式CCD，相比普通光谱仪，其紫外灵敏度提升。同时，采用双闪耀光栅，配备消高阶滤光片，基于100.0mm焦距光学平台，在全波谱范围提供了均衡的灵敏度和较高的分辨率，是一款适合多种科研应用的光谱仪。

　　光纤光谱仪以其检测精度高、速度快等优点，已成为光谱测量学中使用的重要测量仪器，被广泛应用于农业、生物、化学、地质、食品安全、色度计算、环境检测、医药卫生、LED检测、半导体工业、石油化工等领域。

　　我们来看看它的两个应用：

　　1.近红外光纤光谱仪在LED上的测量：

　　单而且迅速地测量LED的整个光通量的方法就是使用一个积分球，并把它连接到光纤光谱仪上。该系统可以用卤素灯进行定标，然后通过软件从测量到的光谱分布计算出相关参数，并实现辐射量的测量。所测光源的光谱发光强度还可以用μW/cm2/nm来计算、显示并存储。另外的窗口还可以显示大约10个参数：辐射量μW/cm2，μJ/cm2，μW或μJ；光通量lux或lumen，色轴X，Y，Z，x，y，z，u，v和色温。

　　2.近红外光纤光谱仪在薄膜厚度上的测量：

　　光学的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理，可以测量的膜层厚度10nm-50μm，分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到，因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控；其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。