离子溅射仪器的技术指标
（1）样品室大小：直径120mm×高度120mm； （2）靶材：Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶，靶材尺寸：直径57mm×厚度0.1mm； （3）样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm； （4）溅射控制：程序化数字控制，最大电流40mA； （5）溅射头：低电压平面磁控管； （6）厚度监控：MTM-20高分辨厚度控制仪，可自动终止溅射过程。
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（1）样品室大小：直径120mm×高度120mm； （2）靶材：Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶，靶材尺寸：直径57mm×厚度0.1mm； （3）样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm； （4）溅射控制：程序化数字控制，最大电流40mA； （5）溅射头：低电压平面磁控管； （6）厚度监控：MTM-20高分辨厚度控制仪，可自动终止溅射过程。
