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SEM关机程序

2018.8.24

关机程序
(1)关灯丝电流(FILAMENT)。
(2)关高压(ACCELERATION POTENTIAL)。
(3)反时针调节显示器对比度(CONTRAST)、亮度(BRIGHTNESS)到底.
(4)关闭镜筒真空隔阀。
(5)关主机电源开关。
(6)关真空开关。
(7)20分钟后,关循环水和电子交流稳压器开关。
(8)关闭总电源。

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