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关于显微镜物镜分辨距离的计算公式

2022.6.23

显微镜物镜分辨距离的计算公式:根据光学衍射理论,衍射光斑直径d=Kλ/NA,若光斑为爱里圆斑,则强度沿径向降低为最大值的1/2时,对应的K=0.52,即d=0.52λNA,焦深ΔZ=λ/2NA2。可见,当NA值增大时,光斑直径d减小,有利于提高测量头的横向及垂直分辨率,但在物镜直径一定的情况下,此时镜头更为靠近被测工件表面,不利于测量头的调整,且系统波象差会随NA值的增大而加大,故需对NA值进行优化选择。

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