能谱和x射线荧光技术进行元素定性定量分析的区别
激发源不一样,能谱的激发源是电子束,X射线荧光自然是X射线,所以两者的检测深度不一样,能谱一般只能检测样品表面,而XRF可以穿透样品。
测试环境不一样,能谱是配在电镜上的,所以只能在真空环境下测试,而XRF则真空和大气条件都可以。
测量元素范围不同,能谱可以测试Be~U,XRF能测到Na就不错了(能量色散型,波长色散不了解).
对样品的要求不同,能谱需要样品导电,前处理要喷金喷碳;XRF无需任何处理
能谱只能半定量,很多元素精度并不是很高,但快速
x射线荧光如果有标样,能够准确定量
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