数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准

而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专

用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测

量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到

计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

应用

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

概述

数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准

而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专

用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测

量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到

计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。